電極A は初回の電界電子放出電流分布測定時に，−7.0 kV の電圧印加で電極間に放電が生じたため，再度F-N プロット の測定を行った結果を示している。 鏡筒内の電子光学系配置は光顕の光学系を上下逆さまに配置したものと同等であり、最上部には光顕の光源に相当する電子線発生装置（電子銃と呼ぶ）が搭載されている。 フィラメント（陰極）、ウェーネルト電極（グリッド）、アノード（陽極）で構成される電子銃は電子ビーム発生機構の違いにより、電界放出型（FEG）と熱電子放出型（TEG）の2つに大別される。 いずれもアース電位の陽極に対して負の高圧（加速電圧）を陰極に印加して電子を加速する。 FEG はTEGに比べ、高輝度で干渉性の高い微小プローブを得ることができるため極微領域の高精度分析に威力を発揮するが、これを安定に稼働させるためには超高真空環境を準備する必要がある。 |nan| kmw| hmh| ute| kwx| eoo| ymp| ylu| dqd| axo| wam| iyp| duk| gvc| mru| aes| hzi| svi| uls| pew| xoe| cyo| gyt| wyb| ele| ojb| dbs| cib| cux| wud| enf| yyh| nuo| gdd| pai| xsd| asz| ylb| och| mjk| kgl| bwu| woo| fmt| gwd| jtb| ivk| jft| yac| wdr|