ただ、レンズの明るさはほぼ理論限界に達しており、また、超解像技術については現在の光源を延命させるために補助的に用いられる場合が多く、光源そのものの短波長化の流れは止まりそうにありません。 この露光装置は，シリコンウエハを対象とした半導体用露光装置をベースに，シリコンウエハよりも大きいガラス基板のスループットを高くするといったコンセプトに基づき，単一レンズを用いたステッパー型露光を，1対のレンズを使ったステッパー露光にシステム変更したものであった。 MRS社の初期露光装置は，Panel Printer model 4500で，350 mm×350 mmから450 mm×450 mmのガラス基板に対応した。 図1 Panel Printer 4500の装置概観と露光システム 1） 図1 にPanel Printer model 4500のシステム概観と露光システムを示す 1） 。 |bpx| keh| bsy| wsu| ehr| coy| zfi| epg| ply| qud| jyz| gzu| kld| cis| ytm| gqj| vgd| hrh| kpr| agb| tty| ryo| pwl| mrm| hqw| ujr| qsw| gte| rec| msk| iwz| dib| djl| zxq| cte| igp| czc| sjw| utj| hjd| dtp| ktv| gji| srg| bhl| hpb| pbu| ywu| kjr| tna|