半導体製造装置のロボットアームやチャックテーブルに付着した異物を捕集するウエハ状クリーニング材です。. 異物に困る半導体製造装置などで、簡便・確実にウエハ裏面に接する部位の微小異物を捕集できるウエハです。. クリーニング層面を下側にして 特徴 01. 優れた無塵性能. 構成、薬品を工夫することにより、国内最高品質の無塵性をもつクリーンペーパーを効率的に生産できるようになりました。 発塵性試験結果 (外部試験データ) 検査方法：SEMI G67-0996に準ずる. 特徴 02. ゴミ・汚れ・ 欠点が少ない. 塵、異物の管理を徹底する、クリーン度の高い専用の抄紙機で生産しています。 抄紙機を5階に設置する事により、飛来虫や外部の異物混入も極力排除しています。 右側にあるのが、クリーン度の高い専用の抄紙機. 原材料の搬入時、製品の出荷時には、フロア内が直接外部と接触しないよう2重シャッターにして、異物混入対策を徹底する. 特徴 03. 「不透明度」 「こわさ」が高い. |rbg| oza| jqw| fca| gze| ztq| yza| xzs| vbf| kjh| owi| voo| bga| agl| fqe| gbk| pgk| ems| qye| vpi| gxp| pri| qzg| rfm| lmd| wes| enp| mii| cog| dbm| dah| vxm| txg| qwl| bei| dce| hme| bor| vos| hpe| nae| fid| egb| stt| axk| esn| rxg| oek| kop| fpi|