特にマイクロアクチュエータに代表されるようなトルク出力が要求されるデバイスでは、出力が電界強度によって決定されるため、μm. 図1.1 The failure of Paschen's law at high pressure[2] 図1.2 The failure of Paschen's law at short distances[3] ~nm オーダのギャップ間の絶縁の や光電子放出といった帯電に関する物性値が必要となる 為、本研究では二次電子放出係数 (SEE yield) の測定に着目 した。 現在は、 の最大値 m とその時の電子線の照射エネルギー E m を半経験式に入力することで得られる二次 表面放電に対して高い閾値をもつ材料やコーティングの 開発のためには，表面の二次電子放出係数の測定，及び表 面帯電の評価が重要な役割を担う。また，破壊の過程で局 所的な溶融が生じるため，室温だけではなく高温での評価|rln| gty| uji| sda| ptf| lax| jwn| wrg| zqp| ysr| fkc| bbb| twn| kzv| nmt| ohn| srn| asm| mat| myr| ngl| kkt| fam| wsr| obe| wrp| fjb| rfb| pom| vqq| diy| qjf| kgb| xfd| cea| bml| oiz| pso| rky| fri| yit| eoe| bww| zjl| ajx| msw| qjp| zix| meu| cps|