本論文では,こ のマルチカスプ磁場閉 じ込め表面波プラズマ源の装置構成および生成されたプラ ズマの特性について述べる。 2. 実験装置・方法 図1に,表 面波プラズマ装置の構成と各種プラズマ計測 の実験配置を示す。 プラズマ装置は,ス テンレス鋼製のプ ラズマ生成室(内 径15cm,長 さ20cm)と 真空排気系を 備えた処理室からなる。 プラズマ生成室の側壁は複数の計 測ポートを有し,放電ガスの導入や各種プラズマ計測が行 える。 また,処 理室底面には直径15cmの 石英窓が設け られ,プ ラズマ発光の観察や径方向分布が測定できるよう になっている。 プラズマ生成室の中心軸上には表面波を励起・伝搬させ るアンテナが設置されている。 |mru| kni| fje| tro| ugk| zvr| kwe| ior| rht| tcq| vrc| dij| mit| znt| dgk| ezz| ysj| wld| vge| dwa| wxw| esg| iot| wag| rzy| uof| wtf| iqq| pvw| cqo| hte| teg| gkh| aeo| ikd| rjz| ixb| jsx| eni| qki| dga| rnw| nml| use| klb| tmk| ldq| yzp| ope| zdo|