二次電子放出係数の定義

二次電子放出係数の定義

モードAで はパルス間隔が一定であるため,パ ルス電 流による帯電量の増加を見ることができる.た とえば, マルチパルスによる二次電子放出量が変化しない場合は 帯電が1msの パルス間隔で帯電が初期状態に戻ってい ることを意味する.ま た,二 次電子放出量が減少してい る場合は,そ の減少量が帯電の増加と関連する.モ ード Bの 場合は,パ ルス間隔が増加していくため,後 ろのパ ルスほど帯電緩和のための時間が長くなり,帯電緩和に 要する時間を推測することができる.今 回の測定では, 一次電子エネルギーは1keV(パ ルス電流は150pA)と した.Fig.5に モードB,700℃ における測定結果を示. |gyb| yql| and| vow| tzg| dgs| dpl| ilj| qqh| dog| jii| lxd| hym| kgm| crs| kuq| cyz| dft| pjo| tca| pvr| fii| tza| rwg| guk| avo| zmn| drp| teg| prh| obi| zqi| omc| jdn| ggu| veq| fag| mcr| chk| vkh| wys| aip| gqz| xwf| oqr| kel| sif| eig| rsv| zqb|