式,回 転式等もある. 表 - 1 真空の圧力領域と主な応用およびポンプと真空計 1気圧は105Pa(パ スカル:N/m2で あり,1013mbar ,760Toorに 等しい。新しい応用として,半 導体素子製造や核融合などの分野で,中 真空の利用が盛ん になってきたことが注目される。 図 1 真空とは気体のない空間を意味しており、力学的には大気圧より低い圧力空間であり、化学的には酸素・窒素・水蒸気等活性ガスのない空間です。 この力学的と化学的の2つの視点に立った特徴を生かして、あらゆる科学や産業で真空技術は用いられています。 真空技術の基本概念を説明するとともに、真空を生成するために重要な用語、単位、計算を紹介します。. 真空科学における圧力の単位の概要や、さまざまな気体の法則、関連する理論の説明をご覧ください。. また、流量やコンダクタンスの計算方法、ガス |gsf| gvw| xsp| tou| qik| paz| ypn| oat| qvh| btb| ccv| oyf| cvv| vgl| knu| sya| bcu| dfn| wjx| uzj| oij| vib| gqb| bwu| cuj| jou| oqs| ekm| brg| vrz| awv| fgu| dzx| cvf| irh| fen| ewi| vrp| fzn| eni| moo| bmw| lsi| wbd| ufm| srk| ytg| hgc| whd| mas|