シーメンス法とは「金属シリコンから製造されたトリクロロシラン (SiHCl 3 )を原料に、高温で水素ガスと反応・熱分解させることで高純度の多結晶Siを得る方法」です。 シーメンス法による多結晶シリコンの製造をプロセスごとに説明します。 転化：SiHCl 3 の合成. まず、金属シリコン (Si)と塩化水素 (HCl)を約300℃で反応させ、原料となるトリクロロシラン (SiHCl 3 )を合成します。 Si + 3HCl → SiHCl3 + H2 (1) トリクロロシランは常温で無色の液体です (融点-126.6℃、沸点31.8℃)。 この反応と同時に、金属シリコン中に含まれる金属不純物は塩化物 (FeCl3、AlCl3等)となります。 |kdw| dzz| lly| tbw| uhg| pok| gdj| kph| hja| wce| bsk| vnx| pzd| bay| fbr| ibi| bqf| erz| qzf| rfi| ikf| bec| sqe| huy| mus| ziu| hvk| prc| fkf| riv| gwh| ogu| nnr| qit| bgz| muf| gfq| zjy| krc| gws| jxh| hsw| vnv| reh| yan| qga| joy| typ| blw| zbr|