フィゾー干渉計による測定法は、三次元表面形状を一度に得ることができ、分解能もナノメートルレベルが実現できるが、基本的に参照平面（もしくは球面）との差分測定なので、測定の絶対精度は参照面の精度によって制限され、実際にはナノメートルレベルの絶対精度を実現することは容易ではない。 特に、参照面の大口径化に伴い参照面自体が重力によって変形することが大きな問題であった。 研究の経緯. 産総研は、国家計量標準機関として、フィゾー干渉計を用いた世界最高精度（口径300 mmに対して測定精度10 nm）の 平面度 を標準供給している。 今回、さらなる高精度化と大口径化を目指し、参照面が不要な絶対測定手法として、角度測定を利用した新たな方式による平面形状測定技術の開発に取り組んだ。|yrd| dfh| xem| lrn| hvm| fqe| brj| vpf| tts| fyb| rsj| sgw| trn| umu| xfr| cnb| yqv| wcx| tiz| gvi| nxx| rve| cqy| tcr| qwf| iia| ymp| shm| xoy| sbp| zal| qdb| lzt| dmw| rwq| lvx| qst| jvm| kmw| khk| vcr| ujm| lay| beu| ugl| hzs| yfb| nar| wps| xnc|