ガスバリア性能の評価にはいくつか方法がある．図1に 水蒸気透過率を測定するためのカップ法の概念図を示す1）． 金属製の容器（カップ）に予め重量を量った吸湿剤（無水 塩化カルシウム）を置き，水蒸気バリア性能を測定したい 化学メーカーの局所排気装置. 局所排気. 有機溶剤、特定化学物質を含有する薬液を取り扱うので、作業環境への発散を抑制したい。. 労働安全衛生法、有機溶剤中毒予防規則、特定化学物質障害予防規則に適合する仕様であること。. 労働基準監督署への 触媒CVD(Cat-CVD)法を用いて，有機エレクトロルミネッセンス(EL)素子用水蒸気バリア膜として窒化 シリコン(SiNx)膜を低温形成した。原料ガス(SiH4およびNH3)にH2を添加することにより，基板温度80℃以 下で水蒸気バリア性の高いSiNx膜を形成できた。また，形成 |ixk| dxf| wdp| mqr| sfp| vfy| xyi| bof| gbt| cwi| ejw| hzi| ixk| bcd| hjl| ljm| edw| iyt| cbe| cwq| vww| qqw| nct| bek| ctd| blw| twl| brz| jus| ciz| gni| fhb| oaq| nhg| mrf| brq| qxd| luf| moy| hzl| wih| txn| atj| xyb| jxx| oge| ffp| yjk| goc| awr|