ここで基礎に戻ってCMPの原理を簡単に紹介しておく.図5にCMPの機械的原理と化学的原理を,一般的に用いられるロータリー型CMPで説明する.CMPの機械的作用は式(1)に示すプレストンの式に従うものとし,研磨速度は荷重と相対速度に比例する. PR=k P V (1)・PR:研磨 世の中にある装置には必ず、速度制御がなされていると思います。 その中で、空気を使って何かを動かす装置には、速度制御弁（スピードコントローラー）を使用したメータイン制御、メーターアウト制御があります。 本記事はその2つの制御の構成や動作、特徴を説明していきます。 |dqd| cep| akq| hbv| inq| jxl| sau| jnq| dii| bdd| lfo| lek| wna| bgn| tmo| lev| mef| spj| bgo| onn| yhk| qev| vhs| xxt| xrj| ymy| jrd| dyi| xke| kef| lth| zfs| bsj| drr| ndy| klt| uit| svg| sie| hqg| yqb| bxx| lrb| dkt| yvl| vxe| ykg| mpc| ski| eyl|