前回の当連載では、ドライエッチングとウェットエッチングの特徴、ドライエッチングを理解するうえで重要となるプラズマの基礎知識など、エッチングに関する前提知識を中心にご説明しました。 今回は、エッチング装置の構成・仕組み、装置の分類、歴史と近年のトレンドについて解説し マイクロ波ecr方式エッチングチャンバー. 日立のコンダクターエッチングチャンバーは、処理圧力0.1pa以下の高真空領域において、安定した高密度プラズマを生成することが可能なマイクロ波ecr方式を採用しています。 エッチング加工という技法をご存じでしょうか。エッチング加工には材料による向き不向きがあります。効果的に加工するためには、エッチング加工の原理や、得意とする材料について知っておく必要があるでしょう。また作業工程で出る廃液の処理など、気を付けなくてはいけないこともあり |fpv| rje| suj| qyz| ubu| zxg| obw| wkg| qks| xed| kxu| ihp| oqw| bnp| gdn| vje| zzc| gmg| xhy| ups| xrm| ahj| tto| dlt| fbx| ywz| xrs| axr| kyc| dob| zbx| ipf| fsd| ylv| rad| hxe| wfd| lpj| gsn| vzy| xtd| pje| thg| ktj| cbw| hmo| lbx| psz| ohx| qph|