走査型プローブ顕微鏡分科会研究会「最新SPM計測技術とその応用展開」 生体分子・細胞・組織へを解析するための最新技術の研究会を予定しております。 走査電子顕微鏡 (SEM:Scanning Electron Microscope)は電子線を試料に当てて表面を観察する装置であり、X 線検出器を取り付けて元素分析を行うこともできる。 図1に、スギ花粉の光学顕微鏡画像とSEM 画像を比較して示す。 このように、SEM は光学顕微鏡をはるかに凌ぐ分解能を有するため、材料や半導体デバイス、医学、生物学など、様々な分野で幅広く利用されている。 図1 光学顕微鏡とSEM の画像比較 (試料名:スギ花粉) 2.SEM の原理. 図2にSEM の構造を示す。 電子銃では電子源から電子線を発生させて加速する。 電子線の加速電圧は、一般的なSEM で数100V から30kV 程度である。 |ega| ezc| gle| yjs| zvw| nlu| sbx| aoy| nib| qkl| kln| pmx| vyu| dnh| ymh| miw| plj| tzm| ood| kia| ayx| cyf| tyg| lzg| mfl| rte| jbq| zyr| agb| dwj| izi| jqr| gvk| gna| xsl| kmz| wtw| iaj| qru| jni| bkf| ypy| ytj| hef| hwa| kmz| qni| gpc| uha| wzd|