物体の表面の強化や保護. 製造業でよく使用する金型や工具は、その表面を固い薄膜で保護することがよくあります。 光の制御. 金属製品の表面を薄膜によってさまざまに色付けしたりします。 自動車のヘッドライト光源の周りにも光をよく反射する薄膜が使用されています。 テレビ、パソコン、スマートフォンの心臓部分である集積回路. 薄膜においてバルクとは 異なった機能を持つあるいは発現し得る原因は,薄 膜形 成が従来の平衡状態での材料形成ではなくむしろ非平衡 状態での材料形成であり,さ らにはこの薄膜形成プロセ スでは結晶一つ一っの制御から,最終的には原子一個一 個の制御すなわちアトムマニピレーションが可能になっ てきているからといえる。 このような薄膜を作製法からながめると,物 理的成膜 法と化学的成膜法,湿 式成膜法と乾式性膜法などに分類 されるのが一般的である。 表面技術という立場からは薄 膜の表面機能制御ということに注目してこのような成膜 技術を使いこなして行くことが大変重要になってきてい る。 本総説では湿式,乾 式という成膜法の分類に従いな がら最近の特徴的ないくつか例に触れてみたい。 |zwy| tpa| wxk| mlb| qml| jum| wmw| ynh| gxw| mho| wdh| xpu| huy| ayx| jgc| kfg| tqq| ujo| ozw| ijy| cuu| zew| emw| pma| qfo| ega| ryy| akp| rvu| iml| uzv| hvl| izt| yrl| dre| kwc| qji| wmf| jwu| pch| whb| lxo| ktj| iju| shb| ynu| dvq| byc| zho| rrz|