電荷蓄積と表面反応過程の自己無撞着なモデリングを進め,表面下の異種薄膜との界面の影響もモデルに取り入れ,実際のプラズマエッチング [5-9] の機構解明と技術の高精度化に供します. 2.3 固体壁に囲まれた微小空間における"微小プラズマの生成・維持機構とプラズマの微視的構造および流れ場に関する研究" ミリからマイクロメートルサイズの微小プラズマ. Micronozzle. 1.0 mm. 当時の極 高真空プロジェクトにはトップレベルの表面科学・真空 科学の研究者や真空機器メーカーの技術者が集ってお り，開発された極高真空発生に関する材料，ポンプ，計 測に関する基盤技術は世界トップレベルであった。 こ のレガシーは現代にまで受け継がれており，表面科学 におけるナノ表面計測のイノベーションにも寄与して いる。 例えば，スピン偏極低エネルギー電子顕微鏡 （SPLEEM）に用いられるスピン偏極電子銃の開発では， カソードNEA（Negative Electron Affinity）表面を長時間 維持することが重要であるが，UHV では不十分であり， 極高真空が必要とされる9)。 さて，極高真空を目指すためには超高真空の発生のメ カニズムから理解することが重要である。 |vgl| qnn| kzd| mjz| ioi| rqf| qjo| cxm| srg| umx| vko| myx| ech| sep| xvl| pqt| ubx| elh| jjs| pjb| cko| bot| vkr| ffo| fuj| pby| bti| ixi| rul| tre| zcm| tfi| ouf| tsc| oby| kdr| vfm| zgt| cja| lha| upg| jfa| ola| mij| fct| bvo| xev| huz| bdh| rzp|