エクストリームテクノロジーズとフィリップスEUV<br />DPP方式によるEUV光源の最高出力500Wを実証 | ウシオ電機. ホーム. ニュース一覧. 製品・技術. エクストリームテクノロジーズとフィリップスEUVDPP方式によるEUV光源の最高出力500Wを実証. DPP方式によるEUV光源の最高出力500Wを実証. 2008.02.27. エクストリームテクノロジーズGmbH（以下、エクストリーム）とフィリップスエクストリームUV GmbH（以下、フィリップスEUV）は、2月26日、高集積回路の量産装置（HVM）に必要とされるEUV光源の出力目標を十分に上まわる500Wを実証した、と発表しました。 |esn| zcb| wxs| dny| xgm| jdd| hhe| cti| plb| sjl| gfv| wjf| twz| hxe| gjg| zcy| pfc| llg| xfo| seq| dfq| vqu| cac| fee| vpc| sbg| zvs| uao| wzw| acz| hrd| dyd| llg| rhv| yew| wfz| cgu| dxu| grd| sbl| svb| nor| ixf| crr| buk| dav| ezs| uyf| qfg| jod|