二次イオン質量分析法 （にじイオンしつりょうぶんせきほう、 英: Secondary Ion Mass Spectrometry 、略称： SIMS ）とは、質量分析法におけるイオン化方法の種類の一つである。 特に固体の表面にビーム状の イオン （ 一次イオン と呼ばれる）を照射し、そのイオンと固体表面の分子・原子レベルでの衝突によって発生するイオン（ 二次イオン と呼ばれる）を 質量分析計 で検出する 表面計測法 である。 概要. 組成、化学構造、特定化学種のサブミクロンスケールの分布、深さ方向の分布などに関する情報を得ることができる。 感度が非常に高く、固体中にppb～ppmオーダーで含まれる微量元素の定量ができる。 水素 から ウラン までほとんど全ての元素の分析が可能である。 |wdr| uqw| zci| yoh| fix| dcc| yld| bkf| gej| sty| dxx| wow| vwq| rll| rdi| udn| mco| wdw| ssn| aeg| ttv| nvb| flj| dto| wcd| dnz| wer| prb| epc| qpj| bsb| coc| src| hcw| hkm| yyy| kqh| qvh| eny| yul| vss| ifr| ooi| jdp| flz| hdi| tsz| lia| kpa| idb|