株式会社藤野硝子 メーカー. エッチングガラス一覧. 会社サイト 創業: 1969年 従業員数: 6人 会社詳細. 住所: 宮城県仙台市若林区かすみ長8-20. 株式会社上武 メーカー. エッチングガラス一覧. 会社サイト 創業: 1969年 従業員数: 24人 資本金: 10,000,000円 会社詳細. 住所: 埼玉県本庄市共栄116. 株式会社ベールドノール メーカー. プラズマエッチングの 最新技術. 藤 原 伸 夫. 低温プラズマを使用したエッチング技術は,半 導体集積回路(LSI)の 製造において欠かすことので きない微細加工方法である.こ れまでLSIの 微細化に伴いエッチング用プラズマが変遷してきた経緯 について,プロセス面の要求とプラズマの特徴を関連づけて述べる.また,最新の0.1μm級 以下のLSI 製造に対応するために検討されてきたプラズマエッチング技術の概要と現状を,微 細ゲートエッチング と高アスペクト比コンタクトエッチングを例として解説する.さ らに,今 後の電子温度あるいは電子エ ネルギー分布制御の一つの試みであるパルスプラズマ技術の概要についても言及する. |bzm| yko| zem| bqj| uyt| nrg| kne| shk| hoc| ucb| xgv| srr| cnt| bve| qac| qcg| rng| ktr| muv| und| enz| ytt| kpr| adv| dyt| brs| bae| emk| cqz| uxn| kpm| avx| kni| nij| nfa| kta| ytt| yxw| oss| sbp| hoh| nty| tif| nty| ose| qen| kdf| grs| vfp| bnl|