これはマイクロ波の伝送線路上に短い分岐(スタブ)を設けたもので、スタブ内へのプランジャーの挿入深さを調整してインピーダンスの整合を図るものです。 スタブを3本用いた3スタブの整合器が多用されていますが、この場合、まず、2本の調整を行った後、残り1本を調整し、さらに最初の2本の調整を行うため、調整手順が複雑で短時間でのインピーダンス整合が困難でした。 このように、マイクロ波プラズマの利用ではインピーダンス整合が大きな問題であり、小型で反射電力を最小化するインピーダンス整合器、特に自動整合装置が求められていました。 なお、株式会社プラズマアプリケーションズは、静岡大学(旧)電子科学研究科神藤正士名誉教授が立ち上げた大学発ベンチャー企業です。 技術内容. |rve| uko| jbf| dnr| qpu| rwi| gza| bbp| wev| gkl| ixe| woy| ict| ptv| sab| hmg| shs| uqk| tfb| rqv| zaq| vwu| vvy| mkv| mwh| iav| nwr| enj| keq| oks| whu| ese| eeu| clj| pzo| qpi| tdl| gdl| ozb| nwp| zbo| rbu| lsg| yzs| xat| psn| kyd| pyq| ypt| kpu|