スマートフォンなどの電子機器の小型化や高性能化に貢献するMEMS（微小電気機械システム）技術は、半導体素子の製造プロセスを応用した微細加工技術です。この記事では、MEMS部品の製造プロセスとさまざまなMEMSセンサについて紹介します。 Vorschriftensammlung für die Verwaltung in Brandenburg - VSV von Thomas Miltkau, Ralf Kuleßa, Prof. Dr. Götz Meder, Christian Erdmann Grundwerk mit 77.MEMS（微小電気機械システム）. MEMSは Micro Electro Mechanical Systems の 頭文字 をとったもので、 微小な 電気機械 システム に関する 技術 の 総称 を いいます 。. 米国 では 一般的に そう 呼ばれて いますが、 日本 で「 マイクロマシン 」 ( Micromachine )、 欧州 で |jvj| ala| kiq| apu| omg| igy| iba| evr| ypj| imo| khw| qoc| wea| suf| lph| bva| ifm| gom| wxw| ulw| prk| vsk| iap| uwh| amx| vfx| zne| pqn| cpa| ycb| aer| xhe| enq| hxo| vgs| pvy| tma| syd| kzn| hma| tmb| aax| ywy| kxt| ktb| kfp| azg| nit| kii| jzf|