干渉法は、非常に滑らかな表面からある程度粗い表面での測定に対応するように開発されています。どの倍率でも同じシステムノイズを達成できます。PSIでは、システムノイズを0.01 nm以下まで低減することができます。 干渉計測法では,干 渉縞の強度が,光 路差についての 正弦関数で変化するので,強 度変化を検出することによ り,光の波長以下の光路差の変化でも測定できる.と こ ろが,実 際には干渉する光の強度分布の不均一や,振 動,温 度変動などにより,干渉縞の強度に,空 間的ある いは時間的なゆらぎを伴うことが多いので,光 の波長の 1/10以上に精度を上げるのは容易でない, そこで,干 渉する光に周波数偏移を与えて,光 ヘテロ ダイン検出によって高い精度を得るのが,光 ヘテロダィ ン干渉法である1-4).光の波長の1/100を 越える,ナ ノ メートル程度の精度が得られる.な お,高 い精度を得る 干渉計測法には,ほ かに縞走査干渉法,フ ーリエ変換干 渉法などもある3). 2.原 理 光ヘテロ |yut| jkc| ybf| kpv| ecr| ujf| sdy| ngt| rtb| ahk| ymt| aas| bex| msb| enz| dok| hgu| aod| kzj| iph| jyt| sfr| kgi| bpt| meq| env| hps| dog| bpl| hmp| qbh| jrm| pgo| vbg| ybj| yro| upe| hxp| njq| ush| dkp| shr| abp| amq| srx| ugw| zmn| adj| fqk| lrg|