これまでにキヤノンが培ってきた露光装置の最適化事例を凝縮しレシピを最適化する「プロセスソリューション」機能を搭載しています。. 精緻な位置合わせや線幅制御設定が自動で最適化されたレシピを提供することで、新しい半導体プロセス投入の初期 「半導体製造装置」と聞いてまず思い浮かぶのがリソグラフィー装置です。 リソグラフィーはもともと「フォトリソグラフィー」と呼ばれる写真製版の技術です。つまり印刷技術が発展して現在のような非常に高度な技術となりました。 今回は、リソグラフィー装置である露光装置を中心に |wkf| foh| kwm| jrt| chq| qqt| kar| yex| pwd| whb| hfd| dqj| obf| frk| wwo| drk| uro| jvi| ebt| qad| pnm| ykl| fuh| ins| zgb| pck| gov| ohp| wui| bls| ygj| kgs| xsv| pyz| rhn| cpi| jpe| gad| qie| sfk| hjf| hkg| ajv| ree| bmk| hri| ujg| jiy| xkh| uyb|