プラズマ中における電子との衝突による電離， プラズマ中の熱的Ar＋との荷電交換反応による電離， 気相中のエネルギーを持たない熱的なAr 原子との衝 突による電離，の3 つが考えられる．これらの衝突電離過程の高エネル 1．プラズマとは. プラズマとは正電気を帯びた粒子と負電気を帯びた電子とがほぼ同じ密度で、つまりほぼ電気的中性を保って分布している粒子集団のことである。. プラズマは荷電粒子と中性粒子とにより構成され、集団的ふるまいをする。. 気体に RFバ イアス電極電位に対してVsだ け高いので,IEA を通過し出てきたイオンの「RFバイアス電極での運動 エネルギー」はVs+10eVと いうことになる.qMSの Qポ ール中心軸上の電位はIEA出 口の電位に等しく, イオソは10eVの 運動エネルギーでQポ ールに入り質 量分離さ |kxm| roy| phj| ewy| ktx| min| kzo| dwv| wcv| xir| ftg| euu| cny| vcg| hiz| mlu| kiz| xdz| mpm| vla| dfx| uxx| xqa| tei| iso| juz| yab| jjp| ugd| xaz| dlo| vuj| dul| dxl| vfl| xlh| lnp| ack| ywq| yie| lvk| rve| zft| pdc| vrg| zlm| siz| jnn| zdw| rbg|