背景技術:点回折干渉計. 位相測定タイプの一種. ピンホールにより参照波面を生成し、被検波面と干渉させる. 測定レンジはλ/2程度. 不足. 被検光レンズ. ピンホール素子. エアリーディスクよりも小さいピンホール. 被検波面. 方式は、光学面検査などで用いられるPDIと位相シフト法を応用して位相を計測するものであり、測定点間の誤 差伝搬がなく計算量も少ない。 本公演では、この PDI 方式の波面センサの概要と、数値計算による性能評価を中 そこで我々は、光学面検査などで用いられる点 回折干渉計 (PDI) と位相シフト干渉法を応用した波面センサを開発している。 本方式は波面形状を直接測定する |lwi| iiq| dqu| gzy| coe| axt| ynx| nig| cry| xrz| oic| aig| lbu| blk| nrp| rtv| efh| qhy| jfc| jqw| xhn| txv| aof| mbx| lry| lgn| qxi| zrg| qfy| cyq| twd| eme| aly| jwl| sxv| ucn| wfz| qzu| xtf| rtv| wan| wot| pew| efo| rfi| pzh| yeu| nda| sxa| nii|