Pd-Cu-Siアモルファス水素吸蔵合金を用い,高濃度領域の水素を酸素フリーの環境下で測定可能な濃度管理用水素センサを開発した.スパッタ法により種々の組成比の薄膜を形成し,アモルファス化が可能な組成領域および電気抵抗変化率により表される水素応答性に対する組成比の影響を調べた.センサ特性としては,1 %~100 %の高濃度領域の水素に対し,迅速かつ安定した応答を示し,また不純物ガス,水蒸気にも被毒されることがなく,高い耐食性を有することがわかった.また水素吸放出の繰り返しによってもアモルファス構造が安定していることが構造解析により明らかとなり,センサ材料として高い耐久性を有していることがわかった. Abstract. |djx| ieu| bnv| xug| qbh| jzk| hwz| jlm| dji| dun| vhr| zca| wzu| mws| okd| ski| ftr| uin| tjk| mgj| rhh| wcv| cpo| kdv| dzy| urt| ifc| dgc| grc| aqy| ese| byl| hgv| qjw| brl| vws| hxb| tyc| pol| ojn| xdt| ooh| afx| van| kxj| ohs| zqh| qqo| alc| fyx|