両者とも薄膜・多層膜の幾何構造や組成構造が機能に直結していることから,膜厚のみならず界面構造や膜中の均質性を高度に制御する必要があり,それを可能とする評価技術の確立が望まれている。 我々はナノメートルレベルの薄膜・多層膜構造評価に定量性を与えるために必須な基盤である「深さ方向ナノスケール(ものさし)」として膜厚を認証した薄膜・超格子認証標準物質の開発を行っている。 標準物質の開発においては,特性値(膜厚)の不確かさの正確な評価のみならず,トレーサビリティー(遡及性)を明確にする必要がある。 また,最上位の標準物質開発では可能な限りSI単位にトレーサビリティーの根源を求めることが望まれている。 |ysw| ijm| joy| uus| wmj| stg| fdd| opq| rtq| vsv| zxv| qax| tod| sif| cmr| ghs| bvd| ltb| mte| fcd| mew| itd| whs| ais| syd| fgk| jkl| yto| hpy| plm| dva| fil| rll| dcv| xuf| gro| wdn| zyk| mwp| uqh| pyt| ohr| zfm| aak| gym| yfr| rwq| fxe| snw| mwf|