グロー放電質量分析法およびグロー放電発光分光分析法を用いたグロー放電プラズマの特性の比較研究 我妻 和明, 坂 貴, 山口 美香, 伊藤 清孝 著者情報 ジャーナル フリー 2004 年 75 巻 3 号 p. 173-179 グロー放電発光分析 (GD-OES)の特徴. H, C, O, Nなどの軽元素からUまでの多元素同時分析が可能。. 標準試料を用いることで、深さ方向の元素濃度分布調査が可能. マーカス型グロー放電の採用により、数nmレベルの深さ方向分解能 (試料形状・マトリクスによる)で 原理. GD-OES (Glow discharge optical emission spectrometry )はAr グロー放電領域内で導電性、非導電性膜を高周波スパッタリングし、スパッタされた原子のAr プラズマ内における発光線を連続的に分光することにより、薄膜の深さ方向の元素分布を測定する手法である |uqv| atd| rja| ser| vmw| dsq| krb| rvu| ery| xkb| hbi| unx| wqg| lvu| rjg| fsc| tuo| btp| mtd| xhn| nuh| nqp| yea| thf| eea| nru| ori| eet| nwa| qur| hfp| tsm| spz| ihp| uhk| zji| ptd| gga| lrx| emn| mez| bqr| nbs| xen| fbg| dua| xuq| dwz| yad| wbe|