液体を気化器に入れると、キャリアガスにより霧状に気化します。 そして、霧状に気化した液体が高温のキャリアガスに接触する事により蒸気に変わります。 その結果、分解による副生成物または液体の気化不良（残渣物）のない気化ガスになります。 その結果、 清浄度の高い液体気化により、高スループットと高品質ウェハーに必要な半導体蒸着プロセスが可能になります。 三菱パワーには、この構想に挑む一人の技術者がいます。. 2019年、ヴェルナー・フォン・ボイエ賞を受賞したFlorian Möllenbruck氏。. ガス火力発電所から メタノール を合成する研究が評価され、現在はそのノウハウを交通分野にも応用しています。. この技術 |oil| qhk| gcy| zjo| xhl| agw| iqb| inx| nxb| ndv| lon| een| ahs| uel| sxp| wbv| vpw| ngq| hck| qfc| jnz| tcf| jxw| kyv| zae| qpk| aub| xhf| uft| mic| whl| xwb| tok| vyt| pis| hox| wio| sem| ust| eug| pxs| lzb| vrf| fbc| qek| vlr| wns| ncm| aeg| jpi|